발표자:
사이먼 D. 엘리엇, 원자 수준 공정 시뮬레이션 부문 이사

초록:
화학 기반 증착 및 식각의 성공 여부는 주로 가스phase 화학물질의 선택에 달려 있다. 원자층 증착(ALD) 및 보다 일반적으로 화학 기상 증착(CVD)의 경우, 전구체 화학물질은 종종 금속 중심을 둘러싼 리간드를 가진 유기금속 복합체이다. ALD/CVD 전구체에서 리간드의 선택은 처리량, 화학량론, 불순물 및 공정 온도에 있어 매우 중요하다. 이종 리간드 전구체(하나 이상의 리간드 유형을 포함하는)는 상충되는 화학적 요구 사항 사이에서 절충점을 찾는 한 가지 방법이다. 그러나 현재까지 가능한 이종 리간드 전구체의 방대한 화학적 영역을 우리는 ‘겉핥기’ 수준에 그치고 있다. 철저한 실험적 분석이 불가능하기 때문에, 우리는 가장 유망한 후보를 선별하기 위해 계산적 스크리닝을 활용한다. 본 논문에서는 열적 안정성 을 기준으로 금속 전구체를 선별하기 위한 계산적 접근법을 제시한다. 이 계산 전략은 부식성 환경에서 산업용 부품을 보호하기 위한 경질 코팅재로 사용되는 질화 지르코늄(ZrN)의 지르코늄(Zr) 전구체를 예로 들어 설명한다.