JUN 23, 2023

在原子尺度上对原子级加工过程的理解方面取得的进展

演讲者

西蒙·埃利奥特
总监——原子级工艺模拟

摘要

在本场报告中，我们将通过一些案例，探讨模拟技术如何推动我们对ALD生长机制的理解，以及近期对ALE生长机制的认识。此外，我们还将概述关于基底成核、金属沉积、等离子体-表面反应以及前驱体设计方面的工作。在此基础上，模拟研究目前正揭示如何控制连续过程与自限过程，以及沉积与刻蚀之间的平衡。

我们将重点强调合作如何成为这项工作的主要驱动力，始终通过实际实验来验证和检验模型结果的相关性。原子尺度建模作为一种研究工具被越来越广泛地采用，这印证了其实用性和影响力。

只要计算机算力继续呈滚雪球式增长，过程化学建模的未来就一片光明。我们期待通过化学空间 的半自主探索，发现更优质的前驱体。机器学习技术正在开拓那些基于物理定律的模拟无法触及的领域，例如复杂性质的预测，以及在大规模系统中提高原子间势能的准确性。